半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
楼盘经验
该商家为全球各地更优的半导体电源芯片首测商家,设在珠三边形东北部,最主要开展精致电源芯片的小学划片和打包封装测验。基于本省优质要严厉,商家定制定一个电镀废水零产生过程中。该项目于22年运行,202几年6月建设完工投运,加工处理范围为200吨/日,总注资约2000多万元。
污废水 成份及来源地
本项的目的小学划片废液有着接下来优缺点:
高含量氟化物,包括源自晶圆锯开后的洗涤流程,氟亚铁离子含量高至150-200mg/L
包含的nm级硅粉小粒,粒级多在100-500nm相互间
无机负荷什么意思较高,COD在500-800mg/L
包含进样器天价属如铅、镉等
导电率高,一般 在2000-3000μS/cm
工作流程图流程图
为保证 零废气排放工作目标,艺设置强调注意污废水 分类整理采集和自然废物回收利用:
生活污水的分类整理系统
:将含氟生产污水与某些生产污水隔开搜集
化工结晶除氟
:进行二级钙盐沉定法,针对高效率的沉定池
专业防氧化治理
:二氧化的碳离子液体氧化的化学降解难外理有机质物
膜果汁设计
:用于DTRO碟管式反渗透膜性,沉淀7的倍数为10倍
汽化凝结
:MVR机器液体再减小汽化器处理浓水
低温干燥体系
:将成果盐干燥的后算作工业化的副品牌外售
处里功能
模式使用数值表示:
氟化物清理率>99.9%,水流氟铝离子<1mg/L
COD总删去率>98%,出水出水COD<20mg/L
水的资源回收分类处理率>95%,仅呈现一定量凝结盐
常年可收购 高产品品质使用水约6万吨
成果盐溶解度做到工艺级条件,保证的资源化再生进行
项目流程并不是实现目标了废液零污染物,还根据资源量的回收利用打造了约80余万元/年的上限效益。