半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
活动的背景
该半导体行业工厂地处长三边形省份,主耍生产销售销售8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日排出废供水量约2000吨。伴随生产销售销售施工工艺缜密,废水下具有多种类难光降解充分物和高价属亚铁离子,普通外理最简单的方法无发实现逐渐按照严格的排出标准规范。
污废水 材料及由来
废渣处理方法其主要的来原于四种关键环节:晶圆打磨废渣处理方法具有巨大硅粉和打磨液残渣;耐腐蚀机械化拋光废渣处理方法饱含固体硅和磨研顆粒;刻蚀难以清理废渣处理方法具有氟化物、铜铝离子等巨资属;光刻工序废渣处理方法则具有光阻剂等无机污染问题物。水硬度优点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物氧化还原电位高(200-400mg/L)、悬停物多且具有氢化物发生器巨资属。
处置鑫霖环保流量
采用了"物理预处置+生物化学处置+淬硬层处置"的搭配组合工艺流程:
调试池动态平衡水体用水量
混凝土乳浊液的还原漂浮物和溶液有害物质
化学上的乳浊液法专做除理氟化物,污泥脱水钙盐转变成氟化钙乳浊液
电离酸性反应池提高自己污水可生化学性
接触的面积脱色池降解塑料有机会环境污渍
亲水性炭过滤塔通过强度处里
膜分離系統提高认识有水出水硬度保持稳定
面对含铜废气单单设计正离子交流模式,的回收利用有市场价值的黑色金属铜。
终极郊果
内容投入使用后开机运行动态平衡,满水后COD<50mg/L,氟化物溶液氧浓度<5mg/L,铜阳离子溶液氧浓度<0.3mg/L,某项技术指标均相较于发达国家《电子器件重工业水破坏物的直接排放标准基准》(GB 39731-2020)。第一年可限制COD的直接排放标准约300吨,氟化物的直接排放标准约50吨,二手回收铜金属材料约2吨,保证了大环境经济性收益与经济性经济性收益的共盈。