该晶圆制作厂地处华南城市，其主要产出8厘米半导体器件晶圆，平均废污水污染物量约800吨。会因为产出方式中适用过多氢佛酸实行晶圆蚀刻，造成 废污池里氟化物盐浓度达到了200-300mg/L，远超的国家污染物规范（10mg/L以上）。 废污水有效成分及特征 废水处理方法主耍根据以下三个方面： 晶圆蚀刻工步 ：含高溶度氟化物（HF）、氰化钠及少量出高价属 物理机械装备拋光（CMP）废气 ：含nm级硅小粒、有机物络合剂 的设备洗掉废水处理 ：含异丙醇、化学需氧量等充分物 整理制作工艺步奏 进行"无机化学水解+混泥土水解+程度过滤程序"3级加工处理系统软件： 第一处理 ：加药氯化钙和氢阳极氧化钙，建成氟化钙悠长岁月中，氟化物删去率达85% 中级整理 ：获取PAC（配位聚铝）和PAM（高密度聚乙烯酰胺），的还原橡胶胶体部分态废弃物物 两级正确处理 ：可以通过多物料过滤水器和化学活化炭吸出，有水出氟化物溶度安稳在8mg/L一些 关键的的设备是指：pH一键设定模式、斜管石雕文化调节池、板框厢式压滤机（污泥干化烘干）。 以后特效 投资项目运营五年监控数据信息显示信息： 氟化物的平均渗透压：7.2mg/L（降到国度规定） COD除去率：92% 废水含水量率：≤65% 年回收处理氟化钙副物料约150吨，改变网络秸秆综合灵活运用灵活运用