好项目历史背景
济南某半导体材料厂出产流程中一起行成高硅废污水(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废污水(F⁻ 200-300mg/L)。多种废污水混合着后常建成氟硅酸橡胶胶体部分,传统与现代化学发展法仍未稳定性高及格。内容条件导入弄掉硅和氟(污染物标准规定:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废水处理材料及从何而来
包括的成分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
的来源
:晶圆刻蚀生产废渣、CMP粉磨生产废渣、机器清洗道路水
解决工艺技术具体步骤
联动石雕文化沉淀分阶段
:
多级想法池
:
首位级加药系统Ca(OH)₂添加CaF₂和CaSiO₃沉淀出的;
第2级加药系统PAC(汇聚氯化铝)提升二沉池。
固液离心分离关键时期
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超滤膜体统
:应用0.02μm孔经膜控件虚报冒领悬浊液硅和微细沉淀物物。
深度的脱氟一阶段
:
化学活化脱色铝过滤塔
:多余氟阴离子树脂吸附除去。
终结视觉效果
留水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远高于国内标准的。
超滤膜装置通量增强在15LMH,物理化学清洁工作频次调长至60天。
活性污泥经压滤后含水量率<65%,可按寻常废弃物正确处理。