该厂为89英寸晶圆生产加工线生活配套的超去离子水装置,每日存在含硅化工废水150吨。化工废水底虽无巨资属,但硅含量高易水垢,且电容率需无法18MΩ·cm才行中水回用。以往办理工学院艺始终无法无法新颁布法律的《手机重工业水被污染的物释放物规范标准》(GB39731-2020)有点释放物卫生防护距离。
废渣组分特征
包括危害物
:溶液硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(孔径0.1-1μm)
特别的需求
:TOC<10μg/L,硼含量<5μg/L
水环境属性
:低导电率(<50μS/cm)但硅氧化物体型较为复杂
净化处理加工操作流程
技术创新采用了"梯级膜离心分离+电去铝离子"搭档工艺技术:
微滤预净化处理
:1μm陶瓷图片膜电话拦截大粉末硅,通量能维持80LMH
阴离子交換树脂胶
:D201大孔硅胶粘合剂取舍性树脂吸附硅酸团伙
三级RO机系统
:最段回收公司率60%,第2段采取高脱硼膜元器件
EDI电去化合物
:工作电流比热容2A/m²,持续不断出掉残存化合物
紫外光除臭
:254nm紫外线用药量40mJ/cm²
技艺重点
发掘使用阻硅剂(生物碳胺类组合物),廷迟膜环境污染周期时间3倍
EDI信息模块什么是创新流道装修设计,硅清掉率提升自己至99.8%
网上硅介绍仪(量测范围图0.1-500μg/L)保证 脱贫攻坚操控
运营作用
经第3方在线检测:
总硅从280mg/L减至0.05mg/L
硼成分从8μg/L降落到0.3μg/L
系統出售率从原40%增强至68%
膜根换生长期延迟至5年,年开机运行费用减少35%