半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片高端品牌首测服务设施涉重工业废水——MVR立即巡环零排该项目
新项目题材
半导体材料行业高端大气测封大型好项目,大规模150万每立方/天,是首只半导体材料行业测封智能化涉重污污水 零排大型好项目。测封流程的镀镍、镀铜、引线知识体系洗会出现含镍含铜污污水 ,开发区规定"无尾水外排",产水基本造纸废水处理于产线。
水质检测的特征与困惑
废渣以含镍是以(含量10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH震荡大(2–12),另外 光刻胶使用量的多量有机肥料物。测封厂地点紧,耍求整理配制占地面积小;零排预示着浓水是不能土石方太大,要地方蒸馏结晶体反馈控制。
治理工学艺交通路线
总布局走"分质整理 → 预净化处理除杂 → 化学工业沉垫除镍 → 活性炭过滤 → UF+二级RO → MVR强制性间歇挥发 → 冷却水水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,加药氢硫化反应钠合成Ni(OH)₂沉淀出的,后加加硫钠高度气体吸附的残留物镍(加硫镍Ksp比氢硫化反应镍更小,会把镍压到0.1毫克/升下面的);
沉淀自己出液经多材质吸附+保安队长吸附后进UF,再进四级RO,产水会直接回产线清理;
RO浓水(含盐+稳定度高价属)进MVR硬性循环法法蒸馏器,硬性循环法法能扛高含盐结渣,蒸馏器內置再线刷洗,不会轻易堵;
MVR冷却水水赶回中水回用地下室集水井,挥发残液委外焚烧秸秆或充当危废处理加工,全场区无固体外排。
最为关键的机械设备优缺点介绍
MVR被迫配置差距常见的降膜减压蒸馏掉,配置气速高、传热系数面容易结镍盐/碳酸盐垢,符合首测本身"蓄水量面积不大但水体质量杂"的场所;三合一化撬装定制占地赔偿比普通减压蒸馏掉塘+多效减压蒸馏掉措施小60%上;臭味侧配备生物学滤池,把调试池和生活污水间的臭味抽取后吸附成CO₂和水,不要首测厂相邻办公场所区的甲醛味道匿名举报。
外理效果好与盈利能力
满水后镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,不同于《塑料电镀造成的污渍减排物规则》表三;都是150立米米/天产水工业废水处理于首测产线的清洗,改用等量丰富水;危险废物(减压蒸馏残液+工业废水)量比传统意义"奠定+减排物"方式减约70%。对富士康侧,首测投资项目干净分级管理卡点打架通;